Electrical characterization of advanced MIM capacitors with ZrO2 Insulator for high-density packaging and RF applications
T. Bertaud
(1, 2)
,
C. Bermond
,
S. Blonkowski
(3)
,
Corentin Vallée
(1)
,
T. Lacrevaz
,
A. Farcy
,
M. Gros-Jean
,
B. Fléchet
C. Bermond
- Fonction : Auteur
- PersonId : 171824
- IdHAL : cedric-bermond
- IdRef : 204250285
T. Lacrevaz
- Fonction : Auteur
- PersonId : 172496
- IdHAL : thierry-lacrevaz
- ORCID : 0000-0002-6741-3497
- IdRef : 10293908X
A. Farcy
- Fonction : Auteur
M. Gros-Jean
- Fonction : Auteur
B. Fléchet
- Fonction : Auteur
- PersonId : 172505
- IdHAL : bernard-flechet
- IdRef : 102939373