Method for 3D electrical parameters dissociation and extraction in multichannel MOSFET (MCFET)
C. Dupré
(1)
,
T. Ernst
(2)
,
E. Bernard
(2)
,
B. Guillaumot
(2)
,
N. Vulliet
(2)
,
P. Coronel
(2)
,
T. Skotnicki
(3)
,
S. Cristoloveanu
(1)
,
G. Ghibaudo
(2)
,
O. Faynot
(2)
,
S. Deleonibus
(2)
1
IMEP-LAHC -
Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation
2 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
3 ST-CROLLES - STMicroelectronics [Crolles]
2 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
3 ST-CROLLES - STMicroelectronics [Crolles]
S. Cristoloveanu
- Fonction : Auteur
- PersonId : 172108
- IdHAL : sorin-cristoloveanu
- ORCID : 0000-0002-3576-5586
- IdRef : 030493188
G. Ghibaudo
- Fonction : Auteur
- PersonId : 170596
- IdHAL : gerard-ghibaudo
- ORCID : 0000-0001-9901-0679
- IdRef : 069253099