Speeding up the unique assets of atomic layer deposition - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Materials Today Chemistry Année : 2019

Dates et versions

hal-02012583 , version 1 (21-10-2021)

Licence

Paternité - Pas d'utilisation commerciale

Identifiants

Citer

David Munoz-Rojas, T. Maindron, A. Esteve, F. Piallat, J.C.S. Kools, et al.. Speeding up the unique assets of atomic layer deposition. Materials Today Chemistry, 2019, 12, pp.96-120. ⟨10.1016/j.mtchem.2018.11.013⟩. ⟨hal-02012583⟩
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