Speeding up the unique assets of atomic layer deposition
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Materials Today Chemistry
Année : 2019
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https://hal.science/hal-02012583
Soumis le : jeudi 21 octobre 2021-19:59:06
Dernière modification le : mercredi 18 décembre 2024-09:49:30
Archivage à long terme le : samedi 22 janvier 2022-20:43:32
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Identifiants
- HAL Id : hal-02012583 , version 1
- DOI : 10.1016/j.mtchem.2018.11.013
Citer
David Munoz-Rojas, T. Maindron, A. Esteve, F. Piallat, J.C.S. Kools, et al.. Speeding up the unique assets of atomic layer deposition. Materials Today Chemistry, 2019, 12, pp.96-120. ⟨10.1016/j.mtchem.2018.11.013⟩. ⟨hal-02012583⟩
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