Article Dans Une Revue
Comptes Rendus. Chimie
Année : 2018
Richard BASCHERA : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-01972322
Soumis le : lundi 7 janvier 2019-16:10:03
Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:12
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-01972322 , version 1
Citer
Christophe Cardinaud. Fluorine-based plasmas: Main features and application in micro-and nanotechnology and in surface treatment. Comptes Rendus. Chimie, 2018, 21 (8), pp.723-739. ⟨hal-01972322⟩
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