High-Performance Ultrathin Body c-SiGe Channel FDSOI pMOSFETs Featuring SiGe Source and Drain: Vth Tuning, Variability, Access Resistance, and Mobility Issues
A. Villalon
(1)
,
C. Le Royer
(2)
,
S. Cristoloveanu
(1)
,
M. Casse
(3)
,
D. Cooper
(2)
,
J. Mazurier
,
B. Previtali
,
C. Tabone
(2)
,
P. Perreau
,
J.M. Hartmann
,
P. Scheiblin
,
F. Allain
,
F. Andrieu
(2)
,
O. Weber
,
O. Faynot
(2)
1
IMEP-LAHC -
Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation
2 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
3 DAPNIA - Département d'Astrophysique, de physique des Particules, de physique Nucléaire et de l'Instrumentation Associée
2 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
3 DAPNIA - Département d'Astrophysique, de physique des Particules, de physique Nucléaire et de l'Instrumentation Associée
S. Cristoloveanu
- Fonction : Auteur
- PersonId : 172108
- IdHAL : sorin-cristoloveanu
- ORCID : 0000-0002-3576-5586
- IdRef : 030493188
J. Mazurier
- Fonction : Auteur
B. Previtali
- Fonction : Auteur
P. Perreau
- Fonction : Auteur
J.M. Hartmann
- Fonction : Auteur
P. Scheiblin
- Fonction : Auteur
F. Allain
- Fonction : Auteur
O. Weber
- Fonction : Auteur