Communication Dans Un Congrès
Année : 2013
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00949998
Soumis le : jeudi 20 février 2014-15:16:14
Dernière modification le : mardi 3 septembre 2024-11:16:05
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00949998 , version 1
Citer
F. Piallat, R. Gassilloud, B. Pelissier, Cédric Leroux, P. Caubet, et al.. (PE)ALD TaCN film nucleation and growth on TiNx: influence of nitrogen content. 25th International Conference on Amorphous and Nano-crystalline Semiconductors, ICANS25, Aug 2013, Toronto, Canada. ⟨hal-00949998⟩
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