Communication Dans Un Congrès
Année : 2008
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00387423
Soumis le : lundi 25 mai 2009-13:48:56
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:16:44
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00387423 , version 1
Citer
M. Zelsmann, C. Gourgon, J. Boussey-Said. Comparison of monomer and polymer resists in thermal nanoimprint lithography. Electron, Ion, Photon Beam Technology and Nanofabrication, 2008, portland, United States. ⟨hal-00387423⟩
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