Moyens de lithographies de la plateforme de Micro et Nanotechnologies du LAAS-CNRS - Archive ouverte HAL
Poster De Conférence Année : 2023

Lithography facilities at the LAAS-CNRS Micro and Nanotechnology platform

Moyens de lithographies de la plateforme de Micro et Nanotechnologies du LAAS-CNRS

Laurent Mazenq
Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique
Franck Carcenac
Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique
Pierre-François Calmon
Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique
Emmanuelle Daran
Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique
Adrian Laborde
Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique
Mairame Diallo
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 1217865
Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique
David Colin
Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique
Jean-Baptiste Doucet
Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique
Hugues Granier
Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique
CV

Domaines

Physique [physics] Micro et nanotechnologies/Microélectronique
Fichier principal
Vignette du fichier
Poster-LAAS-Lithos Renatech-LithoGravure Lille 2023.pdf (2.5 Mo) Télécharger le fichier
Origine Fichiers produits par l'(les) auteur(s)

Laurent Mazenq  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-03976338

Soumis le : mardi 7 février 2023-08:32:59

Dernière modification le : samedi 16 décembre 2023-12:33:40

Archivage à long terme le : lundi 8 mai 2023-18:15:59

Télécharger pour visualiser

Dates et versions

hal-03976338 , version 1 (07-02-2023)

Licence

Paternité

Identifiants

  • HAL Id : hal-03976338 , version 1

Citer

Laurent Mazenq, Franck Carcenac, Pierre-François Calmon, Emmanuelle Daran, Adrian Laborde, et al.. Moyens de lithographies de la plateforme de Micro et Nanotechnologies du LAAS-CNRS. Renatech Litho Gravure, Jan 2023, Lille, France. 2023. ⟨hal-03976338⟩

Exporter

BibTeX XML-TEI Dublin Core DC Terms EndNote DataCite

Collections

UNIV-TLSE2 CNRS INSA-TOULOUSE LAAS UT1-CAPITOLE LAAS-TEAM INSA-GROUPE TOULOUSE-INP UNIV-UT3 UT3-TOULOUSEINP RENATECH
70 Consultations
88 Téléchargements

Partager

More