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Article Dans Une Revue ECS Meeting Abstracts Année : 2009

Mass spectrometry as a tool study CVD process

Résumé

Mass spectrometry as a tool study CVD process. Application of two mass spectrometric (MS) techniques to study chemical vapour deposition from organometallic precursors is described. CpCuPEt3 (Cp = η5-C5H5, Et =C2H5) was used as a model precursor in this work.

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hal-03565683 , version 1 (11-02-2022)

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Citer

Asiya E. Turgambaeva, Vladislav V. Krisyuk, Nathalie Prud’homme, Constantin Vahlas. Mass spectrometry as a tool study CVD process. ECS Meeting Abstracts, 2009, 25 (8), pp.1301-1308. ⟨10.1149/1.3207736⟩. ⟨hal-03565683⟩
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