Mass spectrometry as a tool study CVD process - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue ECS Meeting Abstracts Année : 2009

Mass spectrometry as a tool study CVD process

Résumé

Mass spectrometry as a tool study CVD process. Application of two mass spectrometric (MS) techniques to study chemical vapour deposition from organometallic precursors is described. CpCuPEt3 (Cp = η5-C5H5, Et =C2H5) was used as a model precursor in this work.

Domaines

Matériaux
Fichier principal
Vignette du fichier
Turgambaeva_3860.pdf (137.86 Ko) Télécharger le fichier
Origine Fichiers produits par l'(les) auteur(s)

Open Archive Toulouse Archive Ouverte (OATAO)  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-03565683

Soumis le : vendredi 11 février 2022-10:22:56

Dernière modification le : mercredi 29 mai 2024-12:56:03

Télécharger pour visualiser

Dates et versions

hal-03565683 , version 1 (11-02-2022)

Identifiants

Citer

Asiya E. Turgambaeva, Vladislav V. Krisyuk, Nathalie Prud’homme, Constantin Vahlas. Mass spectrometry as a tool study CVD process. ECS Meeting Abstracts, 2009, 25 (8), pp.1301-1308. ⟨10.1149/1.3207736⟩. ⟨hal-03565683⟩

Exporter

BibTeX XML-TEI Dublin Core DC Terms EndNote DataCite

Collections

CNRS TOULOUSE-INP UNIV-UT3 UT3-TOULOUSEINP CIRIMAT
4 Consultations
12 Téléchargements

Altmetric

Partager

More