Expanding microwave plasma for thin molybdenum films nitriding : nitrogen diffusion and surface structure investigations - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2010

Expanding microwave plasma for thin molybdenum films nitriding : nitrogen diffusion and surface structure investigations

Said Touimi
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 915589
A. Bessaurou
  • Fonction : Auteur
Armand Passelergue
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00619183 , version 1 (05-09-2011)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00619183 , version 1

Citer

Isabelle Jauberteau, Thérèse Merle-Méjean, Said Touimi, Sébastien J. Weber, A. Bessaurou, et al.. Expanding microwave plasma for thin molybdenum films nitriding : nitrogen diffusion and surface structure investigations. PSE 2010 Twelfth International Conference on Plasma Surface Engineering,, Sep 2010, Garmisch Partenkirchen, Germany. pp.Pages S271-S274. ⟨hal-00619183⟩
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