Expanding microwave plasma for thin molybdenum films nitriding : nitrogen diffusion and surface structure investigations
Isabelle Jauberteau
(1)
,
Thérèse Merle-Méjean
(2)
,
Said Touimi
(1)
,
Sébastien J. Weber
(3)
,
A. Bessaurou
,
Armand Passelergue
(4)
,
Jean-Louis Jauberteau
(1)
,
Jacques Aubreton
(1)
Isabelle Jauberteau
- Fonction : Auteur
- PersonId : 16112
- IdHAL : isabelle-jauberteau
- IdRef : 154164852
Thérèse Merle-Méjean
- Fonction : Auteur
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Sébastien J. Weber
- Fonction : Auteur
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- IdRef : 148934536
A. Bessaurou
- Fonction : Auteur
Armand Passelergue
- Fonction : Auteur
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- IdHAL : armand-passelergue
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Jean-Louis Jauberteau
- Fonction : Auteur
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