Communication Dans Un Congrès
Année : 2006
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00461612
Soumis le : vendredi 5 mars 2010-10:25:17
Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:12
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00461612 , version 1
Citer
F. Bailly, T. David, A. Jacquier, Maxime Darnon, Christophe Cardinaud. Material Modifications and Surface Roughness during Porous SiOCH Etching Processes. AVS 53rd international symposium, 2006, United States. ⟨hal-00461612⟩
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