Article Dans Une Revue
Microelectronic Engineering
Année : 2007
Richard BASCHERA : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00392080
Soumis le : vendredi 5 juin 2009-14:42:05
Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:12
Citer
M. Dubosc, S. Casimirius, Marie-Paule Besland, Christophe Cardinaud, Agnès A. Granier, et al.. Impact of the Cu-based substrates and catalyst deposition techniques on carbon nanotube growth at low temperature by PECVD. Microelectronic Engineering, 2007, 84 (11), pp.2501. ⟨10.1016/j.mee.2007.05.024⟩. ⟨hal-00392080⟩
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