Evaluation of SiN films for AlGaN/GaN MIS-HEMTs on Si(111) - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue physica status solidi (c) Année : 2009

Evaluation of SiN films for AlGaN/GaN MIS-HEMTs on Si(111)

Dates et versions

hal-00329478 , version 1 (10-10-2008)

Identifiants

Citer

Yvon Cordier, Aude Le Cotonnec, Sébastien Chenot, Nicolas Baron, Nacer Farih, et al.. Evaluation of SiN films for AlGaN/GaN MIS-HEMTs on Si(111). physica status solidi (c), 2009, 6 (S2), pp.S1016-S1019. ⟨10.1002/pssc.200880870⟩. ⟨hal-00329478⟩
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