Impact of free surface passivation on silicon on insulator buried interface properties by pseudotransistor characterization - FMNT - Fédération Micro- et Nano- Technologies Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Journ. Appl. Phys Année : 2007

Impact of free surface passivation on silicon on insulator buried interface properties by pseudotransistor characterization

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00393059 , version 1 (09-06-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00393059 , version 1

Citer

G. Hamaide, F. Allibert, H. Hovel, S. Cristoloveanu. Impact of free surface passivation on silicon on insulator buried interface properties by pseudotransistor characterization. Journ. Appl. Phys, 2007, 101 (11), pp.114513:1-6. ⟨hal-00393059⟩
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