Ultra-thin fully depleted SOI devices with thin BOX, ground plane and strained liner booster - FMNT - Fédération Micro- et Nano- Technologies Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2006

Ultra-thin fully depleted SOI devices with thin BOX, ground plane and strained liner booster

C. Gallon
  • Fonction : Auteur
C. Fenouillet-Beranger
  • Fonction : Auteur
A. Vandooren
  • Fonction : Auteur
F. Bœuf
  • Fonction : Auteur
S. Monfay
  • Fonction : Auteur
F. Payet
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S. Orain
  • Fonction : Auteur
V. Fiori
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F. Salvetti
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N. Loubet
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C. Charbuillet
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A. Toffoli
  • Fonction : Auteur
F. Allain
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I. Cayrefourcq
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B. Ghyselen
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C. Mazure
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D. Delille
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F. Judong
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C. Perrot
M. Hopstaken
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P. Scheblin
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P. Rivallin
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L. Brevard
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O. Faynot
  • Fonction : Auteur
T. Skotnick
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00146905 , version 1 (15-05-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00146905 , version 1

Citer

C. Gallon, C. Fenouillet-Beranger, A. Vandooren, F. Bœuf, S. Monfay, et al.. Ultra-thin fully depleted SOI devices with thin BOX, ground plane and strained liner booster. Com. a 2006 IEEE Int. SOI Conf, 2006, Grenoble, France. pp.XX. ⟨hal-00146905⟩

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