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Article Dans Une Revue Journal de Physique III Année : 1996

Secondary Electron Imaging by Means of a Microfabricated Electron Column

C. Stebler
  • Fonction : Auteur
M. Despont
  • Fonction : Auteur
U. Staufer
  • Fonction : Auteur

Résumé

This letter reports about the application of a miniaturized electron microscope for generating scanning secondary-electron images. The employed electrostatic lens-system was fabricated using silicon microfabrication techniques and a scanning tunneling microscope, operated in the field emission mode, was used as electron source. A resolution of better than 100 nm at a beam energy of 200 eV was achieved.

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Dates et versions

jpa-00249535 , version 1 (04-02-2008)

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Citer

C. Stebler, M. Despont, U. Staufer. Secondary Electron Imaging by Means of a Microfabricated Electron Column. Journal de Physique III, 1996, 6 (11), pp.1435-1439. ⟨10.1051/jp3:1996106⟩. ⟨jpa-00249535⟩

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