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Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology
Année : 2025
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https://hal.science/hal-05288077
Soumis le : lundi 29 septembre 2025-09:52:54
Dernière modification le : mercredi 29 octobre 2025-10:06:03
Citer
Isaac Wilfried Sanou, Julien Baderot, Ali Hallal, Vincent Barra, Léo Mazauric, et al.. Deep Learning-Driven Automation of Inner and Outer Objects Segmentation in SEM/TEM Imaging for High-Throughput Semiconductor Metrology. Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology, 2025, 24 (4), pp.041406. ⟨10.1117/1.JMM.24.4.041406⟩. ⟨hal-05288077⟩
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