Communication Dans Un Congrès Année : 2024

Engineering Thin HZO Ferroelectric Layers: From Material Study to 3D Integration for Vertical Gate-All-Around FeFETs

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Dates et versions

hal-04630069 , version 1 (01-07-2024)

Identifiants

  • HAL Id : hal-04630069 , version 1

Citer

Konstantinos Moustakas, Leonardo Cancellara, Niccolo Pezzato, Aurélie Lecestre, T Mikolaijk, et al.. Engineering Thin HZO Ferroelectric Layers: From Material Study to 3D Integration for Vertical Gate-All-Around FeFETs. EuroSoi - Ulis, May 2024, Athens, Greece. ⟨hal-04630069⟩
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