Comparison of High Energy X-ray and Cobalt 60 irradiations on MOS capacitors
Comparaison entre les irradiations aux rayons X de haute énergie et au cobalt 60 sur les condensateurs MOS
Résumé
The use of a high energy X-ray generator for Total Ionizing Dose testing is studied on MOS capacitors. Several conditions were studied for the high energy X-ray irradiations (with aluminum and lead filters) and the experimental results are compared to Co-60 irradiations. The effects of both annealing and package lid are also studied. All the results are presented and discussed. It is shown that the simple BEOL stack (only one thin aluminum layer) has no effect on dose deposition in the oxide of MOS capacitors.
L'utilisation d'un générateur de rayons X à haute énergie pour les tests de dose ionisante totale est étudiée sur des condensateurs MOS. Plusieurs conditions ont été étudiées pour les irradiations aux rayons X à haute énergie (avec des filtres aluminium et plomb) et les résultats expérimentaux sont comparés aux irradiations au Co-60. Les effets du recuit et du boîtier sont également étudiés. Tous les résultats sont présentés et discutés. Il est démontré que l'empilement BEOL simple (une seule couche mince d'aluminium) n'a aucun effet sur le dépôt de dose dans l'oxyde des condensateurs MOS.
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