Estimation de températures de surface de substrat dans un procédé de Dépôt Chimique en phase Vapeur Assisté Plasma (PACVD)
Résumé
L’objectif de cette étude est d’établir un modèle thermique dans une géométrie tridimensionnelle afin d’estimer la température de surface de matériaux à traiter par PACVD. Cette technique utilisée pour le traitement de surface d’antagonistes métalliques est brièvement présentée. Une démarche visant à déterminer les paramètres incertains (qui invalident le modèle) est exposée. Enfin, des perspectives relatives à cette étude préliminaire sont évoquées (métrologie, identification).
Origine | Fichiers produits par l'(les) auteur(s) |
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