[Invited] Selective area growth of III-V semiconductors using atomic hydrogen during Molecular Beam epiptaxy
X. Wallart
(1, 2)
,
Bucamp A.
(1, 2)
,
Fahed M.
(3)
,
David Troadec
(1, 4)
,
G. Patriarche
(5)
,
Wang Y.
(6)
,
Ruterana P.
(6)
,
Addad A.
(7)
,
Pastorek M.
(3, 8)
,
Fadjié A.-B.
(3, 8)
,
Nicolas Wichmann
(3, 8)
,
S. Bollaert
(3, 8)
,
L. Desplanque
(3, 9)
1
IEMN -
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
2 EPIPHY - IEMN - EPItaxie et PHYsique des hétérostructures - IEMN
3 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
4 CMNF - IEMN - Centrale de Micro Nano Fabrication - IEMN
5 C2N - Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies
6 CIMAP - UMR 6252 - Centre de recherche sur les Ions, les MAtériaux et la Photonique
7 UMET - Unité Matériaux et Transformations - UMR 8207
8 ANODE - IEMN - Advanced NanOmeter DEvices - IEMN
9 EPIPHY - IEMN - EPItaxie et PHYsique des hétérostructures - IEMN
2 EPIPHY - IEMN - EPItaxie et PHYsique des hétérostructures - IEMN
3 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
4 CMNF - IEMN - Centrale de Micro Nano Fabrication - IEMN
5 C2N - Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies
6 CIMAP - UMR 6252 - Centre de recherche sur les Ions, les MAtériaux et la Photonique
7 UMET - Unité Matériaux et Transformations - UMR 8207
8 ANODE - IEMN - Advanced NanOmeter DEvices - IEMN
9 EPIPHY - IEMN - EPItaxie et PHYsique des hétérostructures - IEMN
X. Wallart
- Fonction : Auteur
- PersonId : 741251
- IdHAL : xavier-wallart
- ORCID : 0000-0002-0915-0043
- IdRef : 03424879X
David Troadec
- Fonction : Auteur
- PersonId : 745527
- IdHAL : david-troadec
- IdRef : 059727403
G. Patriarche
- Fonction : Auteur
- PersonId : 749659
- IdHAL : gilles-patriarche
- ORCID : 0000-0002-3917-2470
- IdRef : 085221872
L. Desplanque
- Fonction : Auteur
- PersonId : 746179
- IdHAL : ludovicdesplanque
- ORCID : 0000-0002-2197-4408
- IdRef : 076098656