Communication Dans Un Congrès
Année : 1999
Emmanuel Dubois : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-04249216
Soumis le : jeudi 19 octobre 2023-10:30:08
Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:25
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-04249216 , version 1
Citer
Emmanuel Dubois, Jean-Luc Bubendorff. Nanometer scale Lithography on Silicon, Titanium and PMMA resist. E-MRS Materials and Processes for Submicron Technologies, vol. 89, p. 1085-1089, Editors J.M. Martinez- Duart, R. Madar, R.A. Levy, 1999, 1999, Strasbourg, France. ⟨hal-04249216⟩
Collections
3
Consultations
0
Téléchargements