Nanometer scale Lithography on Silicon, Titanium and PMMA resist - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 1999
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-04249216 , version 1 (19-10-2023)

Identifiants

  • HAL Id : hal-04249216 , version 1

Citer

Emmanuel Dubois, Jean-Luc Bubendorff. Nanometer scale Lithography on Silicon, Titanium and PMMA resist. E-MRS Materials and Processes for Submicron Technologies, vol. 89, p. 1085-1089, Editors J.M. Martinez- Duart, R. Madar, R.A. Levy, 1999, 1999, Strasbourg, France. ⟨hal-04249216⟩
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