Communication Dans Un Congrès
Année : 1999
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https://hal.science/hal-04249216
Soumis le : jeudi 19 octobre 2023-10:30:08
Dernière modification le : lundi 23 mars 2026-09:10:02
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-04249216 , version 1
Citer
Emmanuel Dubois, Jean-Luc Bubendorff. Nanometer scale Lithography on Silicon, Titanium and PMMA resist. E-MRS Materials and Processes for Submicron Technologies, vol. 89, p. 1085-1089, Editors J.M. Martinez- Duart, R. Madar, R.A. Levy, 1999, 1999, Strasbourg, France. ⟨hal-04249216⟩
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