Water Soluble Resist for Deep-UV (193 nm) Lithography based on a Chitosan Biopolymer
Olha Sysova
(1)
,
Paule Durin
(2)
,
Corinne Gablin
(3)
,
Didier Léonard
(4, 3)
,
Alexandre Téolis
(5)
,
Stéphane Trombotto
(5)
,
Thierry Delair
(5)
,
Dominique Berling
(1)
,
Isabelle Servin
(6)
,
Raluca Tiron
(6)
,
Arnaud Bazin
(6)
,
Jean -Louis Leclercq
(7)
,
Yann Chevolot
(8, 2)
,
Olivier Soppera
(1)
1
IS2M -
Institut de Science des Matériaux de Mulhouse
2 INL - DSE - INL - Dispositifs pour la Santé et l’Environnement
3 ISA - Institut des Sciences Analytiques
4 ISA-Surfaces
5 IMP - Ingénierie des Matériaux Polymères
6 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
7 INL - Institut des Nanotechnologies de Lyon
8 INL - C&N - INL - Chimie et Nanobiotechnologies
2 INL - DSE - INL - Dispositifs pour la Santé et l’Environnement
3 ISA - Institut des Sciences Analytiques
4 ISA-Surfaces
5 IMP - Ingénierie des Matériaux Polymères
6 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
7 INL - Institut des Nanotechnologies de Lyon
8 INL - C&N - INL - Chimie et Nanobiotechnologies
Corinne Gablin
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1145726
- IdHAL : corinne-gablin
Didier Léonard
- Fonction : Auteur
- PersonId : 925857
- IdHAL : didier-leonard
Alexandre Téolis
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1302038
- ORCID : 0009-0004-4254-779X
Stéphane Trombotto
- Fonction : Auteur
- PersonId : 749464
- IdHAL : stephane-trombotto
- ORCID : 0000-0002-7750-2645
Thierry Delair
- Fonction : Auteur
- PersonId : 863899
- ORCID : 0000-0003-0983-4557
Dominique Berling
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1226208
- ORCID : 0000-0001-6501-6298
Isabelle Servin
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1051686
Raluca Tiron
- Fonction : Auteur
- PersonId : 953199
Jean -Louis Leclercq
- Fonction : Auteur
- PersonId : 20758
- IdHAL : jean-louis-leclercq
- ORCID : 0000-0002-3497-7229
- IdRef : 166784796
Yann Chevolot
- Fonction : Auteur
- PersonId : 17893
- IdHAL : yann-chevolot
- ORCID : 0000-0003-3479-3371
- IdRef : 150338090
Olivier Soppera
- Fonction : Auteur
- PersonId : 738946
- IdHAL : olivier-soppera
- ORCID : 0000-0001-5250-2254
- IdRef : 078649781