ToF-SIMS characterization of chitosan as water developable 193 nm photolithography resist for green micro-nanopatterning
Paule Durin
(1)
,
Olha Sysova
(2)
,
Yue Guan
(1)
,
Corinne Gablin
(3)
,
Aziz Benamrouche
(4)
,
Samar Hajjar-Garreau
(2)
,
Alexandre Teolis
(5)
,
Stéphane Trombotto
(6)
,
Thierry Delair
(6)
,
Isabelle Servin
(7)
,
Raluca Tiron
(7)
,
Arnaud Bazin
(7)
,
Dominique Berling
(2)
,
Olivier Soppera
(2)
,
Thomas Gehin
(8)
,
Emmanuelle Laurenceau
(8)
,
Jean -Louis Leclercq
(9)
,
Yann Chevolot
(8)
,
Didier Léonard
(10, 3)
1
INL -
Institut des Nanotechnologies de Lyon
2 IS2M - Institut de Science des Matériaux de Mulhouse
3 ISA - Institut des Sciences Analytiques
4 INL - Nanolyon - INL - Plateforme Technologique Nanolyon
5 IMP - Ingénierie des Matériaux Polymères
6 IMP-LMPB - Ingénierie des Matériaux Polymères - Laboratoire des Matériaux Polymères et des Biomatériaux
7 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
8 INL - DSE - INL - Dispositifs pour la Santé et l’Environnement
9 INL - I-Lum - INL - Ingénierie et conversion de lumière (i-Lum)
10 ISA-Surfaces
2 IS2M - Institut de Science des Matériaux de Mulhouse
3 ISA - Institut des Sciences Analytiques
4 INL - Nanolyon - INL - Plateforme Technologique Nanolyon
5 IMP - Ingénierie des Matériaux Polymères
6 IMP-LMPB - Ingénierie des Matériaux Polymères - Laboratoire des Matériaux Polymères et des Biomatériaux
7 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
8 INL - DSE - INL - Dispositifs pour la Santé et l’Environnement
9 INL - I-Lum - INL - Ingénierie et conversion de lumière (i-Lum)
10 ISA-Surfaces
Alexandre Teolis
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1302038
- ORCID : 0009-0004-4254-779X
Stéphane Trombotto
- Fonction : Auteur
- PersonId : 749464
- IdHAL : stephane-trombotto
- ORCID : 0000-0002-7750-2645
Thierry Delair
- Fonction : Auteur
- PersonId : 863899
- ORCID : 0000-0003-0983-4557
Thomas Gehin
- Fonction : Auteur
- PersonId : 20784
- IdHAL : thomas-gehin
- IdRef : 083851143
Emmanuelle Laurenceau
- Fonction : Auteur
- PersonId : 18212
- IdHAL : emmanuelle-laurenceau
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- IdRef : 166885061
Jean -Louis Leclercq
- Fonction : Auteur
- PersonId : 20758
- IdHAL : jean-louis-leclercq
- ORCID : 0000-0002-3497-7229
- IdRef : 166784796
Yann Chevolot
- Fonction : Auteur
- PersonId : 17893
- IdHAL : yann-chevolot
- ORCID : 0000-0003-3479-3371
- IdRef : 150338090