Water-soluble bio-sourced resists for DUV lithography in a 200/300 mm pilot line environment
Isabelle Servin
(1)
,
Alexandre Teolis
(2)
,
Arnaud Bazin
(3)
,
Paule Durin
(4)
,
Olha Sysova
(5)
,
Corinne Gablin
(6)
,
Benoît Saudet
(1)
,
Didier Leonard
(6)
,
Olivier Soppera
(5)
,
Jean -Louis Leclercq
(7)
,
Yann Chevolot
(4)
,
Raluca Tiron
(1)
,
Thierry Delair
(8)
,
Stephane Trombotto
(2)
1
CEA-LETI -
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
2 IMP - Ingénierie des Matériaux Polymères
3 CHU Reims - Hôpital universitaire Robert Debré [Reims]
4 INL - DSE - INL - Dispositifs pour la Santé et l’Environnement
5 IS2M - Institut de Science des Matériaux de Mulhouse
6 ISA - Institut des Sciences Analytiques
7 INL - I-Lum - INL - Ingénierie et conversion de lumière (i-Lum)
8 IMP-LMPB - Ingénierie des Matériaux Polymères - Laboratoire des Matériaux Polymères et des Biomatériaux
2 IMP - Ingénierie des Matériaux Polymères
3 CHU Reims - Hôpital universitaire Robert Debré [Reims]
4 INL - DSE - INL - Dispositifs pour la Santé et l’Environnement
5 IS2M - Institut de Science des Matériaux de Mulhouse
6 ISA - Institut des Sciences Analytiques
7 INL - I-Lum - INL - Ingénierie et conversion de lumière (i-Lum)
8 IMP-LMPB - Ingénierie des Matériaux Polymères - Laboratoire des Matériaux Polymères et des Biomatériaux
Alexandre Teolis
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1302038
- ORCID : 0009-0004-4254-779X
Jean -Louis Leclercq
- Fonction : Auteur
- PersonId : 20758
- IdHAL : jean-louis-leclercq
- ORCID : 0000-0002-3497-7229
- IdRef : 166784796
Yann Chevolot
- Fonction : Auteur
- PersonId : 17893
- IdHAL : yann-chevolot
- ORCID : 0000-0003-3479-3371
- IdRef : 150338090
Thierry Delair
- Fonction : Auteur
- PersonId : 863899
- ORCID : 0000-0003-0983-4557