Article Dans Une Revue
Materials Science Forum
Année : 1998
Dominique Planson : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-03728071
Soumis le : mercredi 20 juillet 2022-08:51:08
Dernière modification le : dimanche 19 novembre 2023-17:36:59
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-03728071 , version 1
- DOI : 10.4028/www.scientific.net/MSF.264-268.881
Citer
Stefan Berberich, Phillippe Godignon, José Millan, Dominique Planson, H.L. Hartnagel, et al.. Metal-Nitride-Semiconductor Capacitors on 6H-SiC. Materials Science Forum, 1998, 264-268, pp.881-884. ⟨10.4028/www.scientific.net/MSF.264-268.881⟩. ⟨hal-03728071⟩
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