Metal-Nitride-Semiconductor Capacitors on 6H-SiC - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Materials Science Forum Année : 1998
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-03728071 , version 1 (20-07-2022)

Identifiants

Citer

Stefan Berberich, Phillippe Godignon, José Millan, Dominique Planson, H.L. Hartnagel, et al.. Metal-Nitride-Semiconductor Capacitors on 6H-SiC. Materials Science Forum, 1998, 264-268, pp.881-884. ⟨10.4028/www.scientific.net/MSF.264-268.881⟩. ⟨hal-03728071⟩
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