Controlling refractive index in AlN films by texture and crystallinity manipulation - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Thin Solid Films Année : 2017

Controlling refractive index in AlN films by texture and crystallinity manipulation

Résumé

Highly textured polycrystalline aluminum nitride (c-AlN) thin films with hexagonal wurtzite structure have been prepared by direct current reactive magnetron sputtering (DC) of pure aluminum using different compositions of the gas phase and different substrate temperatures.

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Origine : Fichiers produits par l'(les) auteur(s)

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hal-03281702 , version 1 (08-07-2021)

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Citer

Alaa E Giba, Philippe Pigeat, Stéphanie Bruyère, Thomas Easwarakhanthan, Frank Mücklich, et al.. Controlling refractive index in AlN films by texture and crystallinity manipulation. Thin Solid Films, 2017, 636, pp.537-545. ⟨10.1016/j.tsf.2017.06.057⟩. ⟨hal-03281702⟩
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