Multi-axis piezoresistive MEMS force sensor - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2015

Multi-axis piezoresistive MEMS force sensor

Résumé

This study presents a new multi-axis friction sensor. This chip is designed to measure normal forces up to 1 mN and friction forces up to 100 μN and will be used to study multi-asperity nanotribology. First prototypes have been manufactured on a p-type Silicon on Insulator wafer (SOI) and characterized.
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Origine : Fichiers produits par l'(les) auteur(s)

Dates et versions

hal-03107815 , version 1 (12-01-2021)

Identifiants

  • HAL Id : hal-03107815 , version 1

Citer

Margot Billot, Etienne Herth, Joel Agnus, Emmanuel Piat, Philippe Stempfle. Multi-axis piezoresistive MEMS force sensor. Journees Nationales sur les Technologies Emergentes en Micronanofabrication, Nov 2015, Lyon, France. ⟨hal-03107815⟩
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