Experimental Benchmarks and sensitivity analysis of PIC/MC simulations of oxygen CCP's - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Poster De Conférence Année : 2017

Experimental Benchmarks and sensitivity analysis of PIC/MC simulations of oxygen CCP's

Z. Donko
  • Fonction : Auteur
Aranka Derszi
  • Fonction : Auteur
Bastien Bruneau
  • Fonction : Auteur
E.V. Johnson
D. O'Connell
  • Fonction : Auteur
T. Gans
  • Fonction : Auteur
Jean-Paul Booth
J. Schulze
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02611351 , version 1 (18-05-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02611351 , version 1

Citer

Z. Donko, Aranka Derszi, Bastien Bruneau, Andrew Gibson, E.V. Johnson, et al.. Experimental Benchmarks and sensitivity analysis of PIC/MC simulations of oxygen CCP's. International Workshop on Radio-Frequency Plasmas, May 2017, Presqu'île de Giens, France. 2017. ⟨hal-02611351⟩
10 Consultations
0 Téléchargements

Partager

Gmail Facebook X LinkedIn More