Experimental Benchmarks and sensitivity analysis of PIC/MC simulations of oxygen CCP's - Archive ouverte HAL
Poster De Conférence Année : 2017

Experimental Benchmarks and sensitivity analysis of PIC/MC simulations of oxygen CCP's

Z. Donko
  • Fonction : Auteur
Aranka Derszi
  • Fonction : Auteur
Bastien Bruneau
  • Fonction : Auteur
Andrew Gibson
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de Physique des Plasmas
E.V. Johnson
CV
D. O'Connell
  • Fonction : Auteur
T. Gans
  • Fonction : Auteur
Jean-Paul Booth
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV
J. Schulze
  • Fonction : Auteur

Domaines

Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

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https://hal.science/hal-02611351

Soumis le : lundi 18 mai 2020-12:51:27

Dernière modification le : jeudi 1 août 2024-13:48:06

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02611351 , version 1 (18-05-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02611351 , version 1

Citer

Z. Donko, Aranka Derszi, Bastien Bruneau, Andrew Gibson, E.V. Johnson, et al.. Experimental Benchmarks and sensitivity analysis of PIC/MC simulations of oxygen CCP's. International Workshop on Radio-Frequency Plasmas, May 2017, Presqu'île de Giens, France. 2017. ⟨hal-02611351⟩

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