Gas temperature and electron density measurements in Ar and Ar<SUB>-</SUB>Cl<SUB>2</SUB> ICP discharges - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Poster De Conférence Année : 2012

Gas temperature and electron density measurements in Ar and Ar-Cl2 ICP discharges

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02611271 , version 1 (18-05-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02611271 , version 1

Citer

Jean-Paul Booth, Nishant Sirse, Quentin Délivré, Pascal Chabert. Gas temperature and electron density measurements in Ar and Ar-Cl2 ICP discharges. ESCAMPIG, Jul 2012, Viana do Costello, Portugal. 2012. ⟨hal-02611271⟩
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