Gas temperature and electron density measurements in Ar and Ar<SUB>-</SUB>Cl<SUB>2</SUB> ICP discharges - Archive ouverte HAL
Poster De Conférence Année : 2012

Gas temperature and electron density measurements in Ar and Ar-Cl2 ICP discharges

Jean-Paul Booth
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV
Nishant Sirse
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de Physique des Plasmas
Quentin Délivré
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de Physique des Plasmas
Pascal Chabert
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV

Domaines

Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

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https://hal.science/hal-02611271

Soumis le : lundi 18 mai 2020-12:34:37

Dernière modification le : jeudi 1 août 2024-13:48:06

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Dates et versions

hal-02611271 , version 1 (18-05-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02611271 , version 1

Citer

Jean-Paul Booth, Nishant Sirse, Quentin Délivré, Pascal Chabert. Gas temperature and electron density measurements in Ar and Ar-Cl2 ICP discharges. ESCAMPIG, Jul 2012, Viana do Costello, Portugal. 2012. ⟨hal-02611271⟩

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