Communication Dans Un Congrès
Année : 2011
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https://hal.science/hal-02594739
Soumis le : vendredi 15 mai 2020-19:13:41
Dernière modification le : jeudi 1 août 2024-13:48:06
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-02594739 , version 1
Citer
Jean-Paul Booth, E.V. Johnson, Pierre-Alexandre Delattre, T. Verbeke, J-C Vanel. RF waveform tailoring to control film morphology during nanocrystalline silicon PECVD. International Conference on Plasmas and Nanotechnology (ICPLANTS), Feb 2011, Takayama, Japan. ⟨hal-02594739⟩
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