Communication Dans Un Congrès
Année : 2014
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https://hal.science/hal-02593658
Soumis le : vendredi 15 mai 2020-17:33:18
Dernière modification le : jeudi 1 août 2024-13:48:06
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-02593658 , version 1
Citer
Mickaël Foucher, Daniil Marinov, Emile Carbone, Jean-Paul Booth, Pascal Chabert. Inductively-coupled plasmas of Cl2, O2 and mixtures : measurement of atoms, ClxOy and electron densities. GEC, Nov 2014, Raleigh, North Carolina, United States. ⟨hal-02593658⟩
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