Inductively-coupled plasmas of Cl<SUB>2</SUB>, O<SUB>2</SUB> and mixtures : measurement of atoms, Cl<SUB>x</SUB>O<SUB>y</SUB> and electron densities - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2014

Inductively-coupled plasmas of Cl2, O2 and mixtures : measurement of atoms, ClxOy and electron densities

Mickaël Foucher
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de Physique des Plasmas
Daniil Marinov
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de Physique des Plasmas
Emile Carbone
  • Fonction : Auteur
Jean-Paul Booth
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV
Pascal Chabert
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV

Domaines

Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

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https://hal.science/hal-02593658

Soumis le : vendredi 15 mai 2020-17:33:18

Dernière modification le : jeudi 1 août 2024-13:48:06

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Dates et versions

hal-02593658 , version 1 (15-05-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02593658 , version 1

Citer

Mickaël Foucher, Daniil Marinov, Emile Carbone, Jean-Paul Booth, Pascal Chabert. Inductively-coupled plasmas of Cl2, O2 and mixtures : measurement of atoms, ClxOy and electron densities. GEC, Nov 2014, Raleigh, North Carolina, United States. ⟨hal-02593658⟩

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