Communication Dans Un Congrès
Année : 2014
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https://hal.science/hal-02573360
Soumis le : jeudi 14 mai 2020-12:09:33
Dernière modification le : jeudi 1 août 2024-13:48:06
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-02573360 , version 1
Citer
Pascal Chabert, Trevor Lafleur, Jean-Paul Booth, Miles Turner. A model for capacitive discharges with arbitrary RF waveform excitation including the electrical asymmetry effect and the associated self-bias. 8th International Conference on reactive Plasma, Feb 2014, Fukuoka, Japan. ⟨hal-02573360⟩
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