A model for capacitive discharges with arbitrary RF waveform excitation including the electrical asymmetry effect and the associated self-bias - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2014

A model for capacitive discharges with arbitrary RF waveform excitation including the electrical asymmetry effect and the associated self-bias

Pascal Chabert
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV
Trevor Lafleur
Laboratoire de Physique des Plasmas
Jean-Paul Booth
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV
Miles Turner
  • Fonction : Auteur

Domaines

Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

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https://hal.science/hal-02573360

Soumis le : jeudi 14 mai 2020-12:09:33

Dernière modification le : jeudi 1 août 2024-13:48:06

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Dates et versions

hal-02573360 , version 1 (14-05-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02573360 , version 1

Citer

Pascal Chabert, Trevor Lafleur, Jean-Paul Booth, Miles Turner. A model for capacitive discharges with arbitrary RF waveform excitation including the electrical asymmetry effect and the associated self-bias. 8th International Conference on reactive Plasma, Feb 2014, Fukuoka, Japan. ⟨hal-02573360⟩

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