Silicon/silicon oxide and silicon/silicon nitride multilayers for extreme ultraviolet - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Optical Engineering Année : 1991
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02540607 , version 1 (11-04-2020)

Identifiants

Citer

Pierre Boher, Philippe Houdy, Louis Hennet, J.P. Delaboudinière. Silicon/silicon oxide and silicon/silicon nitride multilayers for extreme ultraviolet. Optical Engineering, 1991, 30 (8), pp.1049. ⟨10.1117/12.55920⟩. ⟨hal-02540607⟩
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