Article Dans Une Revue
Optical Engineering
Année : 1991
Louis Hennet : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-02540607
Soumis le : samedi 11 avril 2020-14:28:38
Dernière modification le : mardi 14 mai 2024-13:58:11
Citer
Pierre Boher, Philippe Houdy, Louis Hennet, J.P. Delaboudinière. Silicon/silicon oxide and silicon/silicon nitride multilayers for extreme ultraviolet. Optical Engineering, 1991, 30 (8), pp.1049. ⟨10.1117/12.55920⟩. ⟨hal-02540607⟩
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