MEMS-based RF probes for on-wafer microwave characterization of micro/nanoelectronics - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2015

MEMS-based RF probes for on-wafer microwave characterization of micro/nanoelectronics

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02345582 , version 1 (04-11-2019)

Identifiants

Citer

Jaouad Marzouk, S. Arscott, Abdelhatif El Fellahi, Kamel Haddadi, Tuami Lasri, et al.. MEMS-based RF probes for on-wafer microwave characterization of micro/nanoelectronics. 2015 28th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), Jan 2015, Estoril, Portugal. pp.1012-1015, ⟨10.1109/MEMSYS.2015.7051133⟩. ⟨hal-02345582⟩
26 Consultations
0 Téléchargements

Altmetric

Partager

Gmail Facebook X LinkedIn More