MEMS-based RF probes for on-wafer microwave characterization of micro/nanoelectronics - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2015

MEMS-based RF probes for on-wafer microwave characterization of micro/nanoelectronics

Domaines

Sciences de l'ingénieur [physics]

Stephen Arscott  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-02345582

Soumis le : lundi 4 novembre 2019-15:39:19

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

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Dates et versions

hal-02345582 , version 1 (04-11-2019)

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Citer

Jaouad Marzouk, S. Arscott, Abdelhatif El Fellahi, Kamel Haddadi, Tuami Lasri, et al.. MEMS-based RF probes for on-wafer microwave characterization of micro/nanoelectronics. 2015 28th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), Jan 2015, Estoril, Portugal. pp.1012-1015, ⟨10.1109/MEMSYS.2015.7051133⟩. ⟨hal-02345582⟩

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