Achieving on chip micro-supercapacitors based on CrN deposited by bipolar magnetron sputtering at glancing angle
Emile Haye
(1)
,
Amine Achour
(1)
,
Abdelouadoud Guerra
(2, 3, 4)
,
Fatsah Moulaï
(2)
,
Toufik Hadjersi
(2)
,
Rabah Boukherroub
(3, 5)
,
Adriano Panepinto
(6)
,
Thierry Brousse
(7, 8)
,
Jean-Jacques Pireaux
(1)
,
Stephane Lucas
(9)
1
NISM -
Namur Institute of Structured Matter
2 Alger-7 merveilles
3 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
4 UFAS1 - Université Ferhat-Abbas Sétif 1 [Sétif]
5 NBI - IEMN - NanoBioInterfaces - IEMN
6 CHIPS - Laboratoire de Chimie des interactions plasma surface
7 IMN - Institut des Matériaux Jean Rouxel
8 RS2E - Réseau sur le stockage électrochimique de l'énergie
9 NISM - Namur Institute of Structured Matter
2 Alger-7 merveilles
3 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
4 UFAS1 - Université Ferhat-Abbas Sétif 1 [Sétif]
5 NBI - IEMN - NanoBioInterfaces - IEMN
6 CHIPS - Laboratoire de Chimie des interactions plasma surface
7 IMN - Institut des Matériaux Jean Rouxel
8 RS2E - Réseau sur le stockage électrochimique de l'énergie
9 NISM - Namur Institute of Structured Matter
Emile Haye
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1088760
- ORCID : 0000-0001-9162-561X
- IdRef : 197152767
Abdelouadoud Guerra
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1088759
Rabah Boukherroub
- Fonction : Auteur
- PersonId : 177969
- IdHAL : rabah-boukherroub
- ORCID : 0000-0002-9795-9888
- IdRef : 139279474
Thierry Brousse
- Fonction : Auteur
- PersonId : 917389
Jean-Jacques Pireaux
- Fonction : Auteur
- PersonId : 777724
- ORCID : 0000-0002-5522-9190