Article Dans Une Revue
Semiconductor Science and Technology
Année : 2019
Elisabeth BLANQUET : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-02169850
Soumis le : lundi 1 juillet 2019-15:23:58
Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:15
Citer
Fabien Rozé, Francois Pierre, Olivier Gourhant, François Bertin, Elisabeth Blanquet, et al.. Crystal quality of SiGe films fabricated by the condensation technique and characterized by medium energy ion scattering. Semiconductor Science and Technology, 2019, 34 (6), pp.065005. ⟨10.1088/1361-6641/ab171c⟩. ⟨hal-02169850⟩
17
Consultations
0
Téléchargements