InP-based micromachined Mach-Zehnder interferometer stress sensors - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Microsystem Technologies Année : 1997

InP-based micromachined Mach-Zehnder interferometer stress sensors

Dates et versions

hal-02091566 , version 1 (05-04-2019)

Identifiants

Citer

C. Seassal, J. Leclercq, G. Fierling, X. Letartre, Michel Gendry, et al.. InP-based micromachined Mach-Zehnder interferometer stress sensors. Microsystem Technologies, 1997, 3 (3), pp.139-144. ⟨10.1007/s005420050071⟩. ⟨hal-02091566⟩
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