InP-based micromachined Mach-Zehnder interferometer stress sensors
C. Seassal
(1)
,
J. Leclercq
(1)
,
G. Fierling
(1)
,
X. Letartre
(1)
,
Michel Gendry
(1)
,
P. Viktorovitch
(1)
,
Y. Bertic
(2)
,
A. Trouillet
(2)
,
A. Cachard
(2)
,
P. Benech
(3)
,
J. Lainé
(4)
,
F. Sidoroff
(4)
C. Seassal
- Fonction : Auteur
- PersonId : 21617
- IdHAL : christian-seassal
- ORCID : 0000-0002-3856-9089
- IdRef : 123017149
X. Letartre
- Fonction : Auteur
- PersonId : 16980
- IdHAL : letartre-xavier
- ORCID : 0000-0003-3093-4464
- IdRef : 130140945
Michel Gendry
- Fonction : Auteur
- PersonId : 21701
- IdHAL : michel-gendry
- ORCID : 0000-0003-4237-6164
- IdRef : 032524269