In Situ X-Ray Scattering and Optical Substrate Curvature Studies of ZnO Growth by Atomic Layer and Metal Organic Chemical Vapor Deposition
Hubert Renevier
(1)
,
R. Boichot
(2)
,
A. Crisci
(2)
,
L. Tian
(2)
,
A. Chaker
(1)
,
E. Blanquet
(2)
,
M.I. Richard
(3)
,
T. Ouled
(3)
,
C. Guichet
(3)
,
O. Thomas
(4)
,
G. Ciatto
(5)
,
M. H. Chu
(5)
,
N. Aubert
(5)
,
V. Cantelli
(1)
,
J.L. Deschanvres
(1)
,
D. D. Fong
(6)
1
LMGP -
Laboratoire des matériaux et du génie physique
2 SIMaP - Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés
3 IM2NP - Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence
4 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
5 SSOLEIL - Synchrotron SOLEIL
6 ANL - Argonne National Laboratory [Lemont]
2 SIMaP - Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés
3 IM2NP - Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence
4 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
5 SSOLEIL - Synchrotron SOLEIL
6 ANL - Argonne National Laboratory [Lemont]
Hubert Renevier
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1087904
- IdHAL : hubert-renevier
- ORCID : 0000-0002-2317-9344
- IdRef : 061278920
E. Blanquet
- Fonction : Auteur
- PersonId : 739157
- IdHAL : elisabeth-blanquet
- ORCID : 0000-0001-6467-9110
- IdRef : 135652669
M.I. Richard
- Fonction : Auteur
- PersonId : 736272
- IdHAL : marie-ingrid-richard
- ORCID : 0000-0002-8172-3141
- IdRef : 130070289
J.L. Deschanvres
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1085821
- IdHAL : jean-luc-deschanvres
- ORCID : 0000-0003-4668-8501