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Communication Dans Un Congrès Année : 2015

In Situ X-Ray Scattering and Optical Substrate Curvature Studies of ZnO Growth by Atomic Layer and Metal Organic Chemical Vapor Deposition

G. Ciatto
  • Fonction : Auteur
M. H. Chu
  • Fonction : Auteur
N. Aubert
  • Fonction : Auteur

Domaines

Matériaux
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02016958 , version 1 (13-02-2019)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02016958 , version 1

Citer

Hubert Renevier, R. Boichot, A. Crisci, L. Tian, A. Chaker, et al.. In Situ X-Ray Scattering and Optical Substrate Curvature Studies of ZnO Growth by Atomic Layer and Metal Organic Chemical Vapor Deposition. MRS spring meeting, Apr 2015, San Francisco, United States. ⟨hal-02016958⟩
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